
рдкреНрд░реЛрд╕реЗрд╕рд░? рд░реЗрдд? рдЗрд╕ рд╢рдмреНрдж рд╕реЗ рдЖрдкрдХрд╛ рдХреНрдпрд╛ рдЬреБрдбрд╝рд╛рд╡ рд╣реИ? рдпрд╛ рд╢рд╛рдпрдж рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рд╡реИрд▓реА?
рдЬреИрд╕рд╛ рдХрд┐ рдпрд╣ рд╣реЛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИ, рд╣рдо рд╣рд░ рджрд┐рди рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХрд╛ рд╕рд╛рдордирд╛ рдХрд░рддреЗ рд╣реИрдВ, рдФрд░ рдпрджрд┐ рдЖрдк рдпрд╣ рдЬрд╛рдирдиреЗ рдореЗрдВ рд░реБрдЪрд┐ рд░рдЦрддреЗ рд╣реИрдВ рдХрд┐ рд╕реА рдХреНрдпрд╛ рд╣реИ рдФрд░ рдЗрд╕рдХреЗ рд╕рд╛рде рдХреНрдпрд╛ рдЦрд╛рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИ, рддреЛ рдореИрдВ рдПрдХ рдмрд┐рд▓реНрд▓реА рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдкреВрдЫрддрд╛ рд╣реВрдВред
рдкрд░рд┐рдЪрдп
рдиреИрдиреЛрдордЯреЗрд░рд┐рдпрд▓реНрд╕ рдореЗрдВ рд╡рд┐рд╢реЗрд╖рдЬреНрдЮрддрд╛ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдорд╛рд╕реНрдХреЛ рд╡рд┐рд╢реНрд╡рд╡рд┐рджреНрдпрд╛рд▓рдп рдореЗрдВ рдПрдХ рдЫрд╛рддреНрд░ рдХреЗ рд░реВрдк рдореЗрдВ, рдореИрдВ рдЖрдкрдХреЛ, рд╣рдорд╛рд░реЗ рдЧреНрд░рд╣ рдХреЗ рд╕рдмрд╕реЗ рдорд╣рддреНрд╡рдкреВрд░реНрдг рд░рд╛рд╕рд╛рдпрдирд┐рдХ рддрддреНрд╡реЛрдВ рдХреЗ рд▓рд┐рдП, рдкреНрд░рд┐рдп рдкрд╛рдардХ, рдкрд░рд┐рдЪрдп рдХрд░рд╛рдирд╛ рдЪрд╛рд╣рддрд╛ рдерд╛ред рдореБрдЭреЗ рдпрд╣ рдЪреБрдирдиреЗ рдореЗрдВ рдХрд╛рдлреА рд╕рдордп рд▓рдЧрд╛ рдХрд┐ рдХрд╛рд░реНрдмрди рдпрд╛ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХрд╣рд╛рдВ рд╕реЗ рд╢реБрд░реВ рдХрд░реЗрдВ, рдФрд░ рдлрд┐рд░ рднреА рдЙрд╕рдиреЗ рд╕реА рдкрд░ рдзреНрдпрд╛рди рдХреЗрдВрджреНрд░рд┐рдд рдХрд░рдиреЗ рдХрд╛ рдлреИрд╕рд▓рд╛ рдХрд┐рдпрд╛, рдХреНрдпреЛрдВрдХрд┐ рдХрд┐рд╕реА рднреА рдЖрдзреБрдирд┐рдХ рдЧреИрдЬреЗрдЯ рдХрд╛ рджрд┐рд▓ рдЙрд╕ рдкрд░ рдЖрдзрд╛рд░рд┐рдд рд╣реИ, рдЕрдЧрд░ рдореИрдВ рдРрд╕рд╛ рдХрд╣ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реВрдВред рдореИрдВ рдЕрдкрдиреЗ рд╡рд┐рдЪрд╛рд░реЛрдВ рдХреЛ рдЕрддреНрдпрдВрдд рд╕рд░рд▓рддрд╛ рд╕реЗ рдФрд░ рдЖрд╕рд╛рдиреА рд╕реЗ рд╡реНрдпрдХреНрдд рдХрд░рдиреЗ рдХреА рдХреЛрд╢рд┐рд╢ рдХрд░реВрдБрдЧрд╛, рдЗрд╕ рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рдХреЛ рд▓рд┐рдЦрдирд╛, рдЬрд┐рдиреНрд╣реЗрдВ рдореИрдВрдиреЗ рдореБрдЦреНрдп рд░реВрдк рд╕реЗ рд╢реБрд░реБрдЖрддреА рд▓реЛрдЧреЛрдВ рдореЗрдВ рдЧрд┐рдирд╛ рдерд╛, рд▓реЗрдХрд┐рди рдЕрдзрд┐рдХ рдЙрдиреНрдирдд рд▓реЛрдЧ рдХреБрдЫ рджрд┐рд▓рдЪрд╕реНрдк рд╕реАрдЦ рдкрд╛рдПрдВрдЧреЗ, рдореИрдВ рдпрд╣ рднреА рдХрд╣рдирд╛ рдЪрд╛рд╣реВрдВрдЧрд╛ рдХрд┐ рд▓реЗрдЦ рдХреЗрд╡рд▓ рдЙрди рд░реБрдЪрд┐ рдХреЗ рдХреНрд╖рд┐рддрд┐рдЬ рдХреЛ рд╡реНрдпрд╛рдкрдХ рдмрдирд╛рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рд▓рд┐рдЦрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛ред рддреЛ рдЪрд▓рд┐рдП рд╢реБрд░реВ рдХрд░рддреЗ рд╣реИрдВред
silicium
рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди (рд▓реЗрдЯред рд╕рд┐рд▓рд┐рдХрд┐рдХ), рд╕реА, рдореЗрдВрдбреЗрд▓реАрд╡ рдХреЗ рдЖрд╡рдзрд┐рдХ рдкреНрд░рдгрд╛рд▓реА рдХреЗ рд╕рдореВрд╣ IV рдХреЗ рдПрдХ рд░рд╛рд╕рд╛рдпрдирд┐рдХ рддрддреНрд╡; рдкрд░рдорд╛рдгреБ рд╕рдВрдЦреНрдпрд╛ 14, рдкрд░рдорд╛рдгреБ рджреНрд░рд╡реНрдпрдорд╛рди 28,086ред
рдкреНрд░рдХреГрддрд┐ рдореЗрдВ, рддрддреНрд╡ рдХреЛ рддреАрди рд╕реНрдерд┐рд░ рд╕рдорд╕реНрдерд╛рдирд┐рдХреЛрдВ рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рджрд░реНрд╢рд╛рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИ: 28Si (92.27%), 29Si (4.68%) рдФрд░ 30Si (3.05%)ред
рдШрдирддреНрд╡ (n.o. рдкрд░) 2.33 рдЧреНрд░рд╛рдо / рд╕реЗрдореА.
рдкрд┐рдШрд▓рдиреЗ рдмрд┐рдВрджреБ 1688 K

рдкрд╛рдЙрдбрд░ рд╕реА
рдРрддрд┐рд╣рд╛рд╕рд┐рдХ рдкреГрд╖реНрдарднреВрдорд┐
рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдпреМрдЧрд┐рдХреЛрдВ, рд╡реНрдпрд╛рдкрдХ рд░реВрдк рд╕реЗ рдкреГрдереНрд╡реА рдкрд░ рд╡рд┐рддрд░рд┐рдд, рдкрддреНрдерд░ рдпреБрдЧ рдХреЗ рдмрд╛рдж рд╕реЗ рдордиреБрд╖реНрдп рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЬрд╛рдирд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред рд╢реНрд░рдо рдФрд░ рд╢рд┐рдХрд╛рд░ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдкрддреНрдерд░ рдХреЗ рдФрдЬрд╛рд░реЛрдВ рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрдИ рд╕рджрд┐рдпреЛрдВ рддрдХ рдЪрд▓рд╛ред рдЙрдирдХреЗ рдкреНрд░рд╕рдВрд╕реНрдХрд░рдг рд╕реЗ рдЬреБрдбрд╝реЗ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдпреМрдЧрд┐рдХреЛрдВ рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ - рдХрд╛рдВрдЪ рдХрд╛ рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг - рд▓рдЧрднрдЧ 3000 рд╕рд╛рд▓ рдИрд╕рд╛ рдкреВрд░реНрд╡ рд╢реБрд░реВ рд╣реБрдЖред рдИред (рдкреНрд░рд╛рдЪреАрди рдорд┐рд╕реНрд░ рдореЗрдВ)ред рджреВрд╕рд░реЛрдВ рдХреА рддреБрд▓рдирд╛ рдореЗрдВ рдкрд╣рд▓реЗ, рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХрд╛ рдкреНрд░рд╕рд┐рджреНрдз рдпреМрдЧрд┐рдХ рдСрдХреНрд╕рд╛рдЗрдб SiO2 (рд╕рд┐рд▓рд┐рдХрд╛) рд╣реИред 18 рд╡реАрдВ рд╢рддрд╛рдмреНрджреА рдореЗрдВ, рд╕рд┐рд▓рд┐рдХрд╛ рдХреЛ рдПрдХ рд╕рд╛рдзрд╛рд░рдг рд╢рд░реАрд░ рдорд╛рдирд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рдерд╛ рдФрд░ рдЗрд╕реЗ "рднреВрдорд┐" (рдЬреЛ рдЗрд╕рдХреЗ рдирд╛рдо рд╕реЗ рдкрд░рд┐рд▓рдХреНрд╖рд┐рдд рд╣реЛрддрд╛ рд╣реИ) рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЬрд┐рдореНрдореЗрджрд╛рд░ рдард╣рд░рд╛рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛ред рд╕рд┐рд▓рд┐рдХрд╛ рдХреА рд╕рдВрд░рдЪрдирд╛ рдХреА рдЬрдЯрд┐рд▓рддрд╛ I. Yaред Berzelius рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рд╕реНрдерд╛рдкрд┐рдд рдХреА рдЧрдИ рдереАред рдкрд╣рд▓реА рдмрд╛рд░, 1825 рдореЗрдВ, рдЙрдиреНрд╣реЛрдВрдиреЗ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдлреНрд▓реЛрд░рд╛рдЗрдб SiF4 рд╕реЗ рдореМрд▓рд┐рдХ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдкреНрд░рд╛рдкреНрдд рдХрд┐рдпрд╛, рдзрд╛рддреБ рдкреЛрдЯреЗрд╢рд┐рдпрдо рдХреЗ рд╕рд╛рде рдЙрддреНрддрд░рд╛рд░реНрджреНрдз рдХреЛ рдмрд╣рд╛рд▓ рдХрд┐рдпрд╛ред рдирдП рддрддреНрд╡ рдХреЛ "рд╕рд┐рд▓рд┐рд╕рд┐рдпрдо" рдирд╛рдо рджрд┐рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛ (рд▓реЗрдЯ рд╕реЗред рд╕рд┐рд▓реЗрдХреНрд╕ - рдЪрдХрдордХ рдкрддреНрдерд░)ред 1834 рдореЗрдВ G.I. рд╣реЗрд╕ рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рд░реВрд╕реА рдирд╛рдо рдкреЗрд╢ рдХрд┐рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛ред

рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рд╕рд╛рдорд╛рдиреНрдп рд░реЗрдд рдХреЗ рд╣рд┐рд╕реНрд╕реЗ рдХреЗ рд░реВрдк рдореЗрдВ рдкреНрд░рдХреГрддрд┐ рдореЗрдВ рдмрд╣реБрдд рдЖрдо рд╣реИ
рдкреНрд░рдХреГрддрд┐ рдореЗрдВ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рд╡рд┐рддрд░рдг
рдкреГрдереНрд╡реА рдХреА рдкрдкрдбрд╝реА рдореЗрдВ рд╡реНрдпрд╛рдкрдХрддрд╛ рдХреЗ рд╕рдВрджрд░реНрдн рдореЗрдВ, рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рджреВрд╕рд░рд╛ (рдСрдХреНрд╕реАрдЬрди рдХреЗ рдмрд╛рдж) рддрддреНрд╡ рд╣реИ, рд▓рд┐рдереЛрд╕реНрдлреАрдпрд░ рдореЗрдВ рдЗрд╕рдХреА рдФрд╕рдд рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА 29.5% (рд╡рдЬрди рд╕реЗ) рд╣реИред рдкреГрдереНрд╡реА рдХреА рдкрдкрдбрд╝реА рдореЗрдВ, рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдЬрд╛рдирд╡рд░ рдФрд░ рдкреМрдзреЗ рдХреА рджреБрдирд┐рдпрд╛ рдореЗрдВ рдХрд╛рд░реНрдмрди рдХреЗ рд╕рдорд╛рди рд╕рд░реНрд╡реЛрдкрд░рд┐ рднреВрдорд┐рдХрд╛ рдирд┐рднрд╛рддрд╛ рд╣реИред рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреА рдЬрд┐рдпреЛрдХреЗрдорд┐рд╕реНрдЯреНрд░реА рдХреЗ рд▓рд┐рдП, рдСрдХреНрд╕реАрдЬрди рдХреЗ рд╕рд╛рде рдПрдХ рдЕрд╕рд╛рдзрд╛рд░рдг рдордЬрдмреВрдд рдмрдВрдзрди рдорд╣рддреНрд╡рдкреВрд░реНрдг рд╣реИред рд▓рд┐рдереЛрд╕реНрдлреАрдпрд░ рдХрд╛ рд▓рдЧрднрдЧ 12% рдПрдХ рдХреНрд╡рд╛рд░реНрдЯреНрдЬ рдЦрдирд┐рдЬ рдФрд░ рдЗрд╕рдХреА рдХрд┐рд╕реНрдореЛрдВ рдХреЗ рд░реВрдк рдореЗрдВ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХрд╛ SiO2 рд╣реИред рд▓рд┐рдереЛрд╕реНрдлреАрдпрд░ рдХрд╛ 75% рд╡рд┐рднрд┐рдиреНрди рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЗрдЯреНрд╕ рдФрд░ рдПрд▓реНрдпреВрдорд┐рдиреЛрд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЗрдЯреНрд╕ (рдлреЗрд▓реНрдбрд╕реНрдкрд╛рд░, рдорд╛рдЗрдХрд╛, рдПрдореНрдлреАрдмреЛрд▓реНрд╕, рдЖрджрд┐) рдХреА рд░рдЪрдирд╛ рдХрд░рддрд╛ рд╣реИред рд╕рд┐рд▓рд┐рдХрд╛ рдпреБрдХреНрдд рдЦрдирд┐рдЬреЛрдВ рдХреА рдХреБрд▓ рд╕рдВрдЦреНрдпрд╛ 400 рд╕реЗ рдЕрдзрд┐рдХ рд╣реИред
рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреЗ рднреМрддрд┐рдХ рдЧреБрдг
рдореБрдЭреЗ рд▓рдЧрддрд╛ рд╣реИ рдХрд┐ рдпрд╣рд╛рдВ рд░реБрдХрдиреЗ рд▓рд╛рдпрдХ рдирд╣реАрдВ рд╣реИ, рд╕рднреА рднреМрддрд┐рдХ рдЧреБрдг рд╕реНрд╡рддрдВрддреНрд░ рд░реВрдк рд╕реЗ рдЙрдкрд▓рдмреНрдз рд╣реИрдВ, рд▓реЗрдХрд┐рди рдореИрдВ рд╕рдмрд╕реЗ рдмреБрдирд┐рдпрд╛рджреА рд▓реЛрдЧреЛрдВ рдХреЛ рд╕реВрдЪреАрдмрджреНрдз рдХрд░реВрдВрдЧрд╛ред
рдХреНрд╡рдердирд╛рдВрдХ 2600 ┬░
рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рд▓рдВрдмреА-рд▓рд╣рд░ рд╡рд╛рд▓реА рдЕрд╡рд░рдХреНрдд рдХрд┐рд░рдгреЛрдВ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдкрд╛рд░рджрд░реНрд╢реА рд╣реИ
рдврд╛рдВрдХрддрд╛ рд╣реБрдЖ рдирд┐рд░рдВрддрд░ 11.7
рдореЛрд╣рд╕ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХрдареЛрд░рддрд╛ 7.0
рдореИрдВ рдХрд╣рдирд╛ рдЪрд╛рд╣реВрдВрдЧрд╛ рдХрд┐ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдПрдХ рднрдВрдЧреБрд░ рдкрджрд╛рд░реНрде рд╣реИ, рдПрдХ рдзреНрдпрд╛рди рджреЗрдиреЗ рдпреЛрдЧреНрдп рдкреНрд▓рд╛рд╕реНрдЯрд┐рдХ рд╡рд┐рд░реВрдкрдг 800 рдбрд┐рдЧреНрд░реА рд╕реЗрд▓реНрд╕рд┐рдпрд╕ рд╕реЗ рдКрдкрд░ рдХреЗ рддрд╛рдкрдорд╛рди рдкрд░ рд╢реБрд░реВ рд╣реЛрддрд╛ рд╣реИред
рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдПрдХ рдЕрд░реНрдзрдЪрд╛рд▓рдХ рд╣реИ, рдЬрд┐рд╕рдХреЗ рдХрд╛рд░рдг рдЗрд╕рдХрд╛ рдмрд╣реБрдд рдЙрдкрдпреЛрдЧ рд╣реЛрддрд╛ рд╣реИред рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреЗ рд╡рд┐рджреНрдпреБрдд рдЧреБрдг рдЕрд╢реБрджреНрдзрд┐рдпреЛрдВ рдкрд░ рдмрд╣реБрдд рдирд┐рд░реНрднрд░ рд╣реИрдВред
рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреЗ рд░рд╛рд╕рд╛рдпрдирд┐рдХ рдЧреБрдг
рдмрд╣реБрдд рдХреБрдЫ рд╣реИ рдЬреЛ рдЖрдк рдХрд╣ рд╕рдХрддреЗ рд╣реИрдВ, рд▓реЗрдХрд┐рди рд╕рдмрд╕реЗ рджрд┐рд▓рдЪрд╕реНрдк рд╣реИред рдпреМрдЧрд┐рдХреЛрдВ рдореЗрдВ Si (рдХрд╛рд░реНрдмрди рдХреЗ рд╕рдорд╛рди) 4-рд╡реЗрд▓реЗрдВрдЯрд╛рдЗрдиред
рд╣рд╡рд╛ рдореЗрдВ рдПрдХ рд╕реБрд░рдХреНрд╖рд╛рддреНрдордХ рдСрдХреНрд╕рд╛рдЗрдб рдлрд┐рд▓реНрдо рдХреЗ рдЧрдарди рдХреЗ рдХрд╛рд░рдг, рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдКрдВрдЪрд╛ рддрд╛рдкрдорд╛рди рдкрд░ рднреА рд╕реНрдерд┐рд░ рд╣реИред рдпрд╣ 400 ┬░ рд╕реЗ рд╢реБрд░реВ рд╣реЛрдиреЗ рд╡рд╛рд▓реЗ рдСрдХреНрд╕реАрдЬрди рдореЗрдВ рдСрдХреНрд╕реАрдХреГрдд рд╣реЛрддрд╛ рд╣реИ, рдЬрд┐рд╕рд╕реЗ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдСрдХреНрд╕рд╛рдЗрдб (IV) SiO2 рдмрдирддрд╛ рд╣реИред
рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдПрд╕рд┐рдб рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдкреНрд░рддрд┐рд░реЛрдзреА рд╣реИ рдФрд░ рдХреЗрд╡рд▓ рдирд╛рдЗрдЯреНрд░рд┐рдХ рдФрд░ рд╣рд╛рдЗрдбреНрд░реЛрдлреНрд▓реЛрд░реЛрдЗрдХ рдПрд╕рд┐рдб рдХреЗ рдорд┐рд╢реНрд░рдг рдореЗрдВ рдШреБрд▓рдирд╢реАрд▓ рд╣реИ, рдпрд╣ рд╣рд╛рдЗрдбреНрд░реЛрдЬрди рдХреЗ рд░рд┐рд▓реАрдЬ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдХреНрд╖рд╛рд░ рдХреЗ рдЧрд░реНрдо рд╕рдорд╛рдзрд╛рди рдореЗрдВ рдЖрд╕рд╛рдиреА рд╕реЗ рднрдВрдЧ рд╣реЛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред
рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдСрдХреНрд╕реАрдЬрди рдпреБрдХреНрдд рд╕рд┐рд▓рдиреЗ рдХреЗ 2 рд╕рдореВрд╣реЛрдВ рдХрд╛ рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдХрд░рддрд╛ рд╣реИ - рд╕рд┐рд▓реЛрдХреЗрди рдФрд░ рд╕рд┐рд▓реЛрдХреНрд╕реЗрдиред рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди 1000 рдбрд┐рдЧреНрд░реА рд╕реЗрд▓реНрд╕рд┐рдпрд╕ рд╕реЗ рдЕрдзрд┐рдХ рддрд╛рдкрдорд╛рди рдкрд░ рдирд╛рдЗрдЯреНрд░реЛрдЬрди рдХреЗ рд╕рд╛рде рдкреНрд░рддрд┐рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдХрд░рддрд╛ рд╣реИред Si3N4 рдирд╛рдЗрдЯреНрд░рд╛рдЗрдб, рдЬреЛ 1200 рдбрд┐рдЧреНрд░реА рд╕реЗрд▓реНрд╕рд┐рдпрд╕ рдкрд░ рднреА рд╣рд╡рд╛ рдореЗрдВ рдСрдХреНрд╕реАрдХрд░рдг рдирд╣реАрдВ рдХрд░рддрд╛ рд╣реИ, рдПрд╕рд┐рдб (рдирд╛рдЗрдЯреНрд░рд┐рдХ рдХреЛ рдЫреЛрдбрд╝рдХрд░) рдФрд░ рдХреНрд╖рд╛рд░ рдХреЗ рд╕рд╛рде-рд╕рд╛рде рдкрд┐рдШрд▓рд╛ рд╣реБрдЖ рдзрд╛рддреБрдУрдВ рдФрд░ рд╕реНрд▓реИрдЧ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдкреНрд░рддрд┐рд░реЛрдзреА рд╣реИ, рдЬреЛ рдмрдирд╛рддрд╛ рд╣реИ рд░рд╛рд╕рд╛рдпрдирд┐рдХ рдЙрджреНрдпреЛрдЧ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдФрд░ рд╕рд╛рде рд╣реА рдЕрдкрд╡рд░реНрддрдХ рдХреЗ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЗрд╕рдХреА рдореВрд▓реНрдпрд╡рд╛рди рд╕рд╛рдордЧреНрд░реАред рдХрд╛рд░реНрдмрди (рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХрд╛рд░реНрдмрд╛рдЗрдб SiC) рдФрд░ рдмреЛрд░рд╛рди (SiB3, SiB6, SiB12) рдХреЗ рд╕рд╛рде рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдпреМрдЧрд┐рдХ рдЙрдЪреНрдЪ рдХрдареЛрд░рддрд╛, рд╕рд╛рде рд╣реА рдерд░реНрдорд▓ рдФрд░ рд░рд╛рд╕рд╛рдпрдирд┐рдХ рдкреНрд░рддрд┐рд░реЛрдз рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рдкреНрд░рддрд┐рд╖реНрдард┐рдд рд╣реИрдВред
рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдкреНрд░рд╛рдкреНрдд рдХрд░рдирд╛
рдореБрдЭреЗ рд▓рдЧрддрд╛ рд╣реИ рдХрд┐ рдпрд╣ рд╕рдмрд╕реЗ рджрд┐рд▓рдЪрд╕реНрдк рд╣рд┐рд╕реНрд╕рд╛ рд╣реИ, рдпрд╣рд╛рдВ рд╣рдо рдФрд░ рдЕрдзрд┐рдХ рд╡рд┐рд╕реНрддрд╛рд░ рд╕реЗ рдзреНрдпрд╛рди рджреЗрдВрдЧреЗред
рдЙрджреНрджреЗрд╢реНрдп рдХреЗ рдЖрдзрд╛рд░ рдкрд░, рд╡реЗ рднреЗрдж рдХрд░рддреЗ рд╣реИрдВ:
1. рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХ рдЧреБрдгрд╡рддреНрддрд╛ рдХрд╛ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди (рддрдерд╛рдХрдерд┐рдд "рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди") - рд╡рдЬрди рд╕реЗ 99.999% рд╕реЗ рдЕрдзрд┐рдХ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рдХреЗ рд╕рд╛рде рдЙрдЪреНрдЪрддрдо рдЧреБрдгрд╡рддреНрддрд╛ рд╡рд╛рд▓рд╛ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди, рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХ рдЧреБрдгрд╡рддреНрддрд╛ рдХреЗ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреА рд╡рд┐рджреНрдпреБрдд рдкреНрд░рддрд┐рд░реЛрдзрдХрддрд╛ рд▓рдЧрднрдЧ 0.001 рд╕реЗ 150 рдУрдо / рд╕реЗрдореА рддрдХ рд╣реЛ рд╕рдХрддреА рд╣реИ, рд▓реЗрдХрд┐рди рдПрдХ рд╣реА рд╕рдордп рдореЗрдВ рдкреНрд░рддрд┐рд░реЛрдз рдореВрд▓реНрдп рдХрд┐рд╕реА рджрд┐рдП рдЧрдП рдЕрд╢реБрджреНрдзрддрд╛ рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рд╡рд┐рд╢реЗрд╖ рд░реВрдк рд╕реЗ рдкреНрд░рджрд╛рди рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рдирд╛ рдЪрд╛рд╣рд┐рдП, рдЕрд░реНрдерд╛рддреН, рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рдореЗрдВ рдЕрдиреНрдп рдЕрд╢реБрджреНрдзрд┐рдпреЛрдВ рдХрд╛ рдкреНрд░рд╡реЗрд╢, рдХрдо рд╕реЗ рдХрдо рдПрдХ рд╡рд┐рд╢рд┐рд╖реНрдЯ рд╡рд┐рд╢рд┐рд╖реНрдЯ рд╡рд┐рджреНрдпреБрдд рдкреНрд░рддрд┐рд░реЛрдз рдкреНрд░рджрд╛рди рдХрд░рдирд╛, рдЖрдорддреМрд░ рдкрд░ рдЕрд╕реНрд╡реАрдХрд╛рд░реНрдп рд╣реИред
2. рд╕реМрд░-рдЧреНрд░реЗрдб рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди (рддрдерд╛рдХрдерд┐рдд "рд╕реМрд░ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди") - рд╡рдЬрди рд╕реЗ 99.99% рд╕реЗ рдЕрдзрд┐рдХ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рдХреЗ рд╕рд╛рде рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди, рдлреЛрдЯреЛрд╡реЛрд▓реНрдЯрд┐рдХ рдХреЛрд╢рд┐рдХрд╛рдУрдВ (рд╕реМрд░ рдкреИрдирд▓реЛрдВ) рдХреЗ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред
3. рддрдХрдиреАрдХреА рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди - рд╢реБрджреНрдз рдХреНрд╡рд╛рд░реНрдЯреНрдЬ рд░реЗрдд рд╕реЗ рдХрд╛рд░реНрдмреЛрдерд░реНрдорд▓ рдХрдЯреМрддреА рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рдкреНрд░рд╛рдкреНрдд рдкреЙрд▓реАрдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓рд╛рдЗрди рд╕рдВрд░рдЪрдирд╛ рдХреЗ
рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдмреНрд▓реЙрдХ; рдЗрд╕рдореЗрдВ 98% рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рд╢рд╛рдорд┐рд▓ рд╣реИ, рдореБрдЦреНрдп рдЕрд╢реБрджреНрдзрддрд╛ рдХрд╛рд░реНрдмрди рд╣реИ, рдпрд╣ рдорд┐рд╢реНрд░ рдзрд╛рддреБ рддрддреНрд╡реЛрдВ рдХреА рдПрдХ рдЙрдЪреНрдЪ рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рд╡рд┐рд╢реЗрд╖рддрд╛ рд╣реИ - рдмреЛрд░рд╛рди, рдлрд╛рд╕реНрдлреЛрд░рд╕, рдПрд▓реНрдпреВрдореАрдирд┐рдпрдо; рдореБрдЦреНрдп рд░реВрдк рд╕реЗ рдкреЙрд▓реАрдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓рд╛рдЗрди рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХрд╛ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред
рддрдХрдиреАрдХреА рд╢реБрджреНрдзрддрд╛ рдХрд╛ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХрди (95-98%) рдЧреНрд░реЗрдлрд╛рдЗрдЯ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЛрдб рдХреЗ рдмреАрдЪ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХрд╛ SiO2 рдХреЛ рдХрдо рдХрд░рдХреЗ рдПрдХ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░рд┐рдХ рдЪрд╛рдк рдореЗрдВ рдкреНрд░рд╛рдкреНрдд рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред рдЕрд░реНрдзрдЪрд╛рд▓рдХ рдкреНрд░реМрджреНрдпреЛрдЧрд┐рдХреА рдХреЗ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рдХреЗ рд╕рдВрдмрдВрдз рдореЗрдВ, рд╢реБрджреНрдз рдФрд░ рдЕрддреНрдпрдзрд┐рдХ рд╢реБрджреНрдз рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдкреНрд░рд╛рдкреНрдд рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рддрд░реАрдХреЛрдВ рдХрд╛ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рдХрд┐рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рд╣реИред рдЗрд╕рдХреЗ рд▓рд┐рдП рд╢реБрджреНрдзрддрдо рдкреНрд░рд╛рд░рдВрднрд┐рдХ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдпреМрдЧрд┐рдХреЛрдВ рдХреЗ рдкреНрд░рд╛рд░рдВрднрд┐рдХ рд╕рдВрд╢реНрд▓реЗрд╖рдг рдХреА рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХрддрд╛ рд╣реЛрддреА рд╣реИ рдЬрд┐рд╕рдореЗрдВ рд╕реЗ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдореЗрдВ рдХрдореА рдпрд╛ рдерд░реНрдорд▓ рдЕрдкрдШрдЯрди рд╣реЛрддрд╛ рд╣реИред
рдкреЙрд▓реАрдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯреИрд▓рд┐рди рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди ("рдкреЙрд▓реАрд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди") рдФрджреНрдпреЛрдЧрд┐рдХ рд░реВрдк рд╕реЗ рдЙрддреНрдкрд╛рджрд┐рдд рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХрд╛ рд╢реБрджреНрдзрддрдо рд░реВрдк рд╣реИ - рдХреНрд▓реЛрд░рд╛рдЗрдб рдФрд░ рдлреНрд▓реЛрд░рд╛рдЗрдб рд╡рд┐рдзрд┐рдпреЛрдВ рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рдФрджреНрдпреЛрдЧрд┐рдХ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреА рд╢реБрджреНрдзрд┐ рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рдкреНрд░рд╛рдкреНрдд рдЕрд░реНрджреНрдз-рддреИрдпрд╛рд░ рдЙрддреНрдкрд╛рдж рдФрд░ рдореЛрдиреЛрдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓рд╛рдЗрди рдФрд░ рдорд▓реНрдЯреАрд╕реИрдХреНрд▓рд┐рди рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХрд╛ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред
рдкреЙрд▓реАрдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓рд╛рдЗрди рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдкрд╛рд░рдВрдкрд░рд┐рдХ рд░реВрдк рд╕реЗ рддрдХрдиреАрдХреА рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рд╕реЗ рдкреНрд░рд╛рдкреНрдд рд╣реЛрддрд╛ рд╣реИ, рдЗрд╕реЗ рд╡рд╛рд╖реНрдкрд╢реАрд▓ рд╕рд┐рд▓рди (рдореЛрдиреЛрд╕реЗрд▓реЗрди, рдХреНрд▓реЛрд░реЛрд╕рд┐рд▓ рдкреНрд▓реЗрдиреНрд╕, рдлреНрд▓реЛрд░реЛрд╕рд┐рд▓рдиреЗрд╕) рдореЗрдВ рдкрд░рд┐рд╡рд░реНрддрд┐рдд рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИ, рдЬрд┐рд╕рдХреЗ рдкрд░рд┐рдгрд╛рдорд╕реНрд╡рд░реВрдк рд╕рд┐рд▓реНрдХрди, рдЪрдпрдирд┐рдд рд▓реЗрди рдХреЗ рдЖрд╕рд╡рди рд╢реЛрдзрди рдФрд░ рдзрд╛рддреБрдИ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреЛ рд╕рд╛рдЗрд▓реЗрди рдХреА рдХрдореА рдХреЛ рдкреВрд░рд╛ рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред
рд╢реБрджреНрдз рдЕрд░реНрдзрдЪрд╛рд▓рдХ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рджреЛ рд░реВрдкреЛрдВ рдореЗрдВ рдкреНрд░рд╛рдкреНрдд рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИ:
рдкреЙрд▓реАрдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯреИрд▓рд┐рди (рдЬрд╕реНрддрд╛ рдпрд╛ рд╣рд╛рдЗрдбреНрд░реЛрдЬрди рдХреЗ рд╕рд╛рде SiCl4 рдпрд╛ SiHCl3 рдХреА рдХрдореА, SiI4 рдФрд░ SiH4 рдХрд╛ рдерд░реНрдорд▓ рдЕрдкрдШрдЯрди) рдФрд░
рдПрдХрд▓-рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ (рдХреНрд░реВрд╕рд┐рдмрд▓-рд░рд╣рд┐рдд рдкрд┐рдШрд▓рдиреЗ рд╕реЗ рдкрд┐рдШрд▓рд╛ рд╣реБрдЖ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХрд╛ "рдЦреАрдВрдЪ" - Czochralski рд╡рд┐рдзрд┐)ред

рдпрд╣рд╛рдВ рдЖрдк рдмрдврд╝рддреЗ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреА рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рджреЗрдЦ рд╕рдХрддреЗ рд╣реИрдВ, Czochralski рд╡рд┐рдзрд┐ред
Czochralski рд╡рд┐рдзрд┐ рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рдХреА рдмрдврд╝рддреА рд╕рддрд╣ рдХреА рдПрдХ рд╡рд┐рдзрд┐ рд╣реИ, рдЬреЛ рдкрд┐рдШрд▓ рдХреА рдореБрдХреНрдд рд╕рддрд╣ рдХреЗ рд╕рдВрдкрд░реНрдХ рдореЗрдВ рдПрдХ рджрд┐рдП рдЧрдП рд╕рдВрд░рдЪрдирд╛ рдХреЗ рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ (рдпрд╛ рдХрдИ рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓) рдХреЛ рд▓рд╛рдХрд░ рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓реАрдХрд░рдг рдХреА рджреАрдХреНрд╖рд╛ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдмрдбрд╝реА рдорд╛рддреНрд░рд╛ рдХреА рдореБрдХреНрдд рд╕рддрд╣ рд╕реЗ рдКрдкрд░ рдХреА рдУрд░ рдЦреАрдВрдЪрддреА рд╣реИред
рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдЕрдиреБрдкреНрд░рдпреЛрдЧ
рд╡рд┐рд╢реЗрд╖ рд░реВрдк рд╕реЗ рдбреЛрдк рдХрд┐рдП рдЧрдП рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреЛ рд╡реНрдпрд╛рдкрдХ рд░реВрдк рд╕реЗ рдЕрд░реНрдзрдЪрд╛рд▓рдХ рдЙрдкрдХрд░рдгреЛрдВ (рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░, рдерд░реНрдорд┐рд╕реНрдЯрд░реНрд╕, рдкрд╛рд╡рд░ рд░реЗрдХреНрдЯрд┐рдлрд╛рдпрд░реНрд╕, рдерд╛рдпрд░рд┐рд╕реНрдЯрд░реНрд╕; рдЕрдВрддрд░рд┐рдХреНрд╖ рдпрд╛рди рдореЗрдВ рдЗрд╕реНрддреЗрдорд╛рд▓ рд╣реЛрдиреЗ рд╡рд╛рд▓реА рд╕реМрд░ рдХреЛрд╢рд┐рдХрд╛рдУрдВ, рд╕рд╛рде рд╣реА рдмрд╣реБрдд рд╕рд╛рд░реЗ рд╕рд╛рдорд╛рди) рдХреЗ рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдПрдХ рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рдХреЗ рд░реВрдк рдореЗрдВ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред
рдЪреВрдВрдХрд┐ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди 1 рд╕реЗ 9 рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрди рдХреА рддрд░рдВрдЧ рджреИрд░реНрдзреНрдп рдХреЗ рд╕рд╛рде рдХрд┐рд░рдгреЛрдВ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдкрд╛рд░рджрд░реНрд╢реА рд╣реИ, рдЗрд╕рд▓рд┐рдП рдЗрд╕рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдЕрд╡рд░рдХреНрдд рдкреНрд░рдХрд╛рд╢рд┐рдХреА рдореЗрдВ рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред
рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдореЗрдВ рд╡рд┐рд╡рд┐рдз рдкреНрд░рдХрд╛рд░ рдХреЗ рдЕрдиреБрдкреНрд░рдпреЛрдЧ рд╣реИрдВред рд╕реА рдХреЗ рдзрд╛рддреБ рд╡рд┐рдЬреНрдЮрд╛рди рдореЗрдВ
рдкрд┐рдШрд▓реА рд╣реБрдИ рдзрд╛рддреБрдУрдВ (рдбреАрдСрдХреНрд╕реАрдбреЗрд╢рди) рдореЗрдВ рдШреБрд▓реА рд╣реБрдИ рдСрдХреНрд╕реАрдЬрди рдХреЛ рдирд┐рдХрд╛рд▓рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред
рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рд▓реЛрд╣реЗ рдФрд░ рдЕрд▓реМрд╣ рдзрд╛рддреБрдУрдВ рдХреА рдмрдбрд╝реА рд╕рдВрдЦреНрдпрд╛ рдХрд╛ рдПрдХ рдЕрднрд┐рдиреНрди рдЕрдВрдЧ рд╣реИред
рдЖрдорддреМрд░ рдкрд░, рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдорд┐рд╢реНрд░ рдзрд╛рддреБ рдЬрдВрдЧ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рд╡реГрджреНрдзрд┐ рд╣реБрдИ рдкреНрд░рддрд┐рд░реЛрдз рджреЗрддрд╛ рд╣реИ, рдЙрдирдХреЗ рдХрд╛рд╕реНрдЯрд┐рдВрдЧ рдЧреБрдгреЛрдВ рдореЗрдВ рд╕реБрдзрд╛рд░ рдХрд░рддрд╛ рд╣реИ рдФрд░ рдпрд╛рдВрддреНрд░рд┐рдХ рд╢рдХреНрддрд┐ рдмрдврд╝рд╛рддрд╛ рд╣реИ; рд╣рд╛рд▓рд╛рдВрдХрд┐, рдПрдХ рдмрдбрд╝реА рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рдХреЗ рд╕рд╛рде, рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдирд╛рдЬреБрдХрддрд╛ рдХрд╛ рдХрд╛рд░рдг рдмрди рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИред
рд╕рдмрд╕реЗ рдмрдбрд╝реЗ рдорд╣рддреНрд╡ рдореЗрдВ рд▓реЛрд╣рд╛, рддрд╛рдВрдмрд╛ рдФрд░ рдПрд▓реНрдпреВрдореАрдирд┐рдпрдо рдорд┐рд╢реНрд░ рдзрд╛рддреБ рд╣реЛрддреЗ рд╣реИрдВред
рд╕рд┐рд▓рд┐рдХрд╛ рдХреЛ рдЧреНрд▓рд╛рд╕, рд╕реАрдореЗрдВрдЯ, рд╕рд┐рд░реЗрдорд┐рдХ, рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░рд┐рдХрд▓ рдФрд░ рдЕрдиреНрдп рдЙрджреНрдпреЛрдЧреЛрдВ рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рд╕рдВрд╕рд╛рдзрд┐рдд рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред
Ultrapure рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдореБрдЦреНрдп рд░реВрдк рд╕реЗ рдПрдХрд▓ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХ рдЙрдкрдХрд░рдгреЛрдВ рдХреЗ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИ (рдЙрджрд╛рд╣рд░рдг рдХреЗ рд▓рд┐рдП, рдЖрдкрдХреЗ рдХрдВрдкреНрдпреВрдЯрд░ рдХрд╛ рдкреНрд░реЛрд╕реЗрд╕рд░) рдФрд░ рдПрдХрд▓-рдЪрд┐рдк рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛ-рд╕рд░реНрдХрд┐рдЯред
рд╢реБрджреНрдз рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди, рдкрд░рд╛рдмреИрдВрдЧрдиреА рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреА рдмрд░реНрдмрд╛рджреА, рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓реАрдп рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреЗ рд░реВрдк рдореЗрдВ рдкрд░рд┐рд╖реНрдХреГрдд рдзрд╛рддреБрдХрд░реНрдо рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди, рд╕реМрд░ рдКрд░реНрдЬрд╛ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдореБрдЦреНрдп рдХрдЪреНрдЪрд╛ рдорд╛рд▓ рд╣реИред
рдореЛрдиреЛрдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓рд╛рдЗрди рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди - рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХреНрд╕ рдФрд░ рд╕реМрд░ рдКрд░реНрдЬрд╛ рдХреЗ рдЕрд▓рд╛рд╡рд╛, рдЗрд╕рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдЧреИрд╕ рд▓реЗрдЬрд░ рджрд░реНрдкрдг рдХреЗ рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред

Ultrapure рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдФрд░ рдЙрд╕рдХреЗ рдЙрддреНрдкрд╛рдж
рд╢рд░реАрд░ рдореЗрдВ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди
рд╢рд░реАрд░ рдореЗрдВ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдореБрдЦреНрдп рд░реВрдк рд╕реЗ рдареЛрд╕ рдХрдВрдХрд╛рд▓ рднрд╛рдЧреЛрдВ рдФрд░ рдКрддрдХреЛрдВ рдХреЗ рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдореЗрдВ рд╢рд╛рдорд┐рд▓ рд╡рд┐рднрд┐рдиреНрди рдпреМрдЧрд┐рдХреЛрдВ рдХреЗ рд░реВрдк рдореЗрдВ рд╣реЛрддрд╛ рд╣реИред рд╡рд┐рд╢реЗрд╖ рд░реВрдк рд╕реЗ рдмрд╣реБрдд рд╕рд╛рд░реЗ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреБрдЫ рд╕рдореБрджреНрд░реА рдкреМрдзреЛрдВ (рдЙрджрд╛рд╣рд░рдг рдХреЗ рд▓рд┐рдП, рдбрд╛рдпрдЯрдо) рдФрд░ рдЬрд╛рдирд╡рд░реЛрдВ (рдЙрджрд╛рд╣рд░рдг рдХреЗ рд▓рд┐рдП, рдХреНрд░реЗрдореЛрд░реНрди рд╕реНрдкреЙрдиреНрдЬ, рд░реЗрдбрд┐рдУрд▓рд┐рдпрди) рдХреЛ рдЬрдорд╛ рдХрд░ рд╕рдХрддреЗ рд╣реИрдВ, рдЬреЛ рд╕рдореБрджреНрд░ рддрд▓ рдкрд░ рдорд░рддреЗ рд╕рдордп рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдСрдХреНрд╕рд╛рдЗрдб (IV) рдХреЗ рд╢рдХреНрддрд┐рд╢рд╛рд▓реА рдЬрдорд╛ рдХрд░рддреЗ рд╣реИрдВред рдардВрдбреЗ рд╕рдореБрджреНрд░ рдФрд░ рдЭреАрд▓реЛрдВ рдореЗрдВ, рдмрд╛рдпреЛрдЬреЗрдирд┐рдХ рд╕рд┐рд▓реНрдЯ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреЗ рд╕рд╛рде рд╕рдореГрджреНрдз рд╣реЛрддреА рд╣реИ, рдЙрд╖реНрдгрдХрдЯрд┐рдмрдВрдзреАрдп рд╕рдореБрджреНрд░реЛрдВ рдореЗрдВ, рдХрдо рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рдХреЗ рд╕рд╛рде рдХреИрд▓рдХреЗрд░рд╕ рд╕рд┐рд▓рд╕рд┐рд▓рд╛ рдкреНрд░рдмрд▓ рд╣реЛрддрд╛ рд╣реИред рд╕реНрдерд▓реАрдп рдкреМрдзреЛрдВ рдХреЗ рдмреАрдЪ, рдЕрдирд╛рдЬ, sedges, рд╣рдереЗрд▓рд┐рдпреЛрдВ, рдФрд░ horsetails рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХрд╛ рдПрдХ рдмрд╣реБрдд рдЬрдорд╛ рдХрд░рддреЗ рд╣реИрдВред рдХрд╢реЗрд░реБрдХ рдореЗрдВ, рд░рд╛рдЦ рдкрджрд╛рд░реНрдереЛрдВ рдореЗрдВ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдСрдХреНрд╕рд╛рдЗрдб (IV) рдХреА рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА 0.1-0.5% рд╣реИред рд╕рдмрд╕реЗ рдмрдбрд╝реА рдорд╛рддреНрд░рд╛ рдореЗрдВ, рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдШрдиреЗ рд╕рдВрдпреЛрдЬреА рдКрддрдХ, рдЧреБрд░реНрджреЗ рдФрд░ рдЕрдЧреНрдиреНрдпрд╛рд╢рдп рдореЗрдВ рдкрд╛рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред рджреИрдирд┐рдХ рдорд╛рдирд╡ рдЖрд╣рд╛рд░ рдореЗрдВ 1 рдЧреНрд░рд╛рдо рддрдХ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рд╣реЛрддрд╛ рд╣реИред рд╣рд╡рд╛ рдореЗрдВ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдСрдХреНрд╕рд╛рдЗрдб (IV) рдзреВрд▓ рдХреА рдПрдХ рдЙрдЪреНрдЪ рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рдХреЗ рд╕рд╛рде, рдпрд╣ рдПрдХ рд╡реНрдпрдХреНрддрд┐ рдХреЗ рдлреЗрдлрдбрд╝реЛрдВ рдореЗрдВ рдкреНрд░рд╡реЗрд╢ рдХрд░рддрд╛ рд╣реИ рдФрд░ рдПрдХ рдмреАрдорд╛рд░реА рдХрд╛ рдХрд╛рд░рдг рдмрдирддрд╛ рд╣реИ - рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЛрд╕рд┐рд╕ред
рдирд┐рд╖реНрдХрд░реНрд╖
рдареАрдХ рд╣реИ, рдпрд╣ рд╕рдм, рдпрджрд┐ рдЖрдк рдЕрдВрдд рддрдХ рдкрдврд╝рддреЗ рд╣реИрдВ рдФрд░ рдереЛрдбрд╝реА рдЕрдВрддрд░реНрджреГрд╖реНрдЯрд┐ рдорд┐рд▓реА рд╣реИ, рддреЛ рдЖрдк рд╕рдлрд▓рддрд╛ рдХреЗ рдХрд░реАрдм рдПрдХ рдХрджрдо рд╣реИрдВред рдореБрдЭреЗ рдЙрдореНрдореАрдж рд╣реИ рдХрд┐ рдореИрдВрдиреЗ рдПрдХ рдХрд╛рд░рдг рдХреЗ рд▓рд┐рдП рд▓рд┐рдЦрд╛ рдерд╛, рдФрд░ рдХрдо рд╕реЗ рдХрдо рдХрд┐рд╕реА рдХреЛ рдкреЛрд╕реНрдЯ рдкрд╕рдВрдж рдЖрдпрд╛ред рдЖрдкрдХрд╛ рдзреНрдпрд╛рди рджреЗрдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдзрдиреНрдпрд╡рд╛рджред