рдЪрд╛рдЗрдирд╛ рдЗрдВрд╕реНрдЯреАрдЯреНрдпреВрдЯ рдСрдл рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХ 22nm рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдмрдирд╛рддрд╛ рд╣реИ

рдЪрд╛рдЗрдиреАрдЬ рдПрдХреЗрдбрдореА рдСрдл рд╕рд╛рдЗрдВрд╕реЗрдЬ (IMECAS) рдХреЗ рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХ рд╕рдВрд╕реНрдерд╛рди рдиреЗ рдШреЛрд╖рдгрд╛ рдХреА рдХрд┐ рд╡реЗ 22nm рдХреА рдЧреЗрдЯ рд▓рдВрдмрд╛рдИ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдПрдХ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдмрдирд╛рдиреЗ рдореЗрдВ рд╕рдХреНрд╖рдо рдереЗ (рддреБрд▓рдирд╛ рдХреЗ рд▓рд┐рдП, рдЗрдВрдЯреЗрд▓ рдкреНрд░реЛрд╕реЗрд╕рд░ рдореЗрдВ 22nm рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдХреА рд▓рдВрдмрд╛рдИ 26nm рдХреА рдЧреЗрдЯ рд▓рдВрдмрд╛рдИ рд╣реИ)ред рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдПрдХ рдзрд╛рддреБ рдЧреЗрдЯ рдФрд░ рдПрдХ рдЙрдЪреНрдЪ k- рдЧреЗрдЯ рдлрд╛рдЯрдХ рдврд╛рдВрдХрддрд╛ рд╣реБрдЖ (рдПрдХ рдЕрддрд┐ рдкрддрд▓реА рдлрд╛рдЯрдХ рдлрд╛рдЯрдХ рдврд╛рдВрдХрддрд╛ рд╣реБрдЖ рдкрд░рдд рдХреЗ рдорд╛рдзреНрдпрдо рд╕реЗ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдиреЛрдВ рд╕реБрд░рдВрдЧ рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рд░рд┐рд╕рд╛рд╡ рдХреЛ рдХрдо рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХ) рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд░реЗрдВред

рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдЗрдВрдЯреЗрд▓ рдХреА рд╢реИрд▓реА рдореЗрдВ "3-рд╡реЗ рдЧреЗрдЯ" рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдирд╣реАрдВ рдХрд░рддреЗ рд╣реИрдВ, рд▓реЗрдХрд┐рди рдЕрдзрд┐рдХ рдкрд╛рд░рдВрдкрд░рд┐рдХ рдкреНрд▓рд╛рдирд░ рдЧреЗрдЯ-рдЕрдВрддрд┐рдо рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ (рдЬрдм рдЧреЗрдЯ рдЕрдВрддрд┐рдо рдмрдирддрд╛ рд╣реИ)ред

рдкреАрдЖрд░рд╕реА рдиреЗ 2009 рдореЗрдВ рдореБрдЦреНрдп рд░рд╛рд╖реНрдЯреНрд░реАрдп рдкрд░рд┐рдпреЛрдЬрдирд╛рдУрдВ рдореЗрдВ рд╕реЗ рдПрдХ рдХреЗ рд░реВрдк рдореЗрдВ рдЗрди рдЕрдзреНрдпрдпрдиреЛрдВ рдХреА рд╢реБрд░реБрдЖрдд рдХреАред IMECAS рдХреЗ рдЕрдиреБрд╕рд╛рд░, рдЪреАрди рдореЗрдВ рдПрдХреАрдХреГрдд рд╕рд░реНрдХрд┐рдЯ рдХреЗ 22nm рдкреНрд░реМрджреНрдпреЛрдЧрд┐рдХреА рдХреЗ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рд╕реЗ рд╡рд░реНрддрдорд╛рди рдореЗрдВ рдЖрдпрд╛рддрд┐рдд рдкреНрд░реМрджреНрдпреЛрдЧрд┐рдХрд┐рдпреЛрдВ (рдпрд╛ рдЕрдзрд┐рдХ рдЕрдиреБрдХреВрд▓ рдХреАрдорддреЛрдВ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рд╕реМрджреЗрдмрд╛рдЬреА) рдкрд░ рдмрд╣реБрдд рдЕрдзрд┐рдХ рдзрди рдХреА рдмрдЪрдд рд╣реЛрдЧреАред

рдХреАрдорддреЛрдВ рдХреЗ рдХреНрд░рдо рдХреЛ рд╕рдордЭрдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП - Angstrom-T 130nm рдкреНрд░реМрджреНрдпреЛрдЧрд┐рдХреА рд▓рд╛рдЧрдд ~ 120 рдорд┐рд▓рд┐рдпрди рдпреВрд░реЛ (2007), 90nm рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрди - рд▓рдЧрднрдЧ 27 рдорд┐рд▓рд┐рдпрди рдпреВрд░реЛ (2011, рд░рд┐рдкреЛрд░реНрдЯ рдХреЗ рдЕрдиреБрд╕рд╛рд░)ред рдорд╣реАрди рджрд░реЛрдВ рдкрд░, рд▓рд╛рдЧрдд рддреЗрдЬреА рд╕реЗ рдмрдврд╝ рдЬрд╛рддреА рд╣реИред рд╢рд╛рдпрдж рднрд╡рд┐рд╖реНрдп рдореЗрдВ, рдкреНрд░реМрджреНрдпреЛрдЧрд┐рдХреА рдЪреАрди рд╕реЗ рдЦрд░реАрджрдирд╛ рд╣реЛрдЧрд╛ред


рдЕрд▓рдЧ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдкрд░рдорд╛рдгреБ (рдЫрд╡рд┐ рдХреЗ рдирд┐рдЪрд▓реЗ рд╣рд┐рд╕реНрд╕реЗ рдореЗрдВ) рд╕реНрдкрд╖реНрдЯ рд░реВрдк рд╕реЗ рджрд┐рдЦрд╛рдИ рджреЗрддреЗ рд╣реИрдВред IL рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдФрд░ рдЙрдЪреНрдЪ-рдХреЗ HfO 2 рдврд╛рдВрдХрддрд╛ рд╣реБрдЖ рдХреЗ рдмреАрдЪ рдПрдХ SiO 2 рдЗрдВрдЯрд░рдлрд╝реЗрд╕ рдкрд░рдд рд╣реИ (рдпрд╣ рд╕реАрдзреЗ рд╕реАрдзреЗ рдкрд╛рд▓рди рдирд╣реАрдВ рдХрд░рддрд╛ рд╣реИ)ред


рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдореЗрдВ 45 рдбрд┐рдЧреНрд░реА рдХреЗ рдХреЛрдг рдкрд░ рд╣рд▓реНрдХреА рд░реЗрдЦрд╛рдПрдВ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдЪреИрдирд▓ рдореЗрдВ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХрд╛ рдПрдХ рд╡реЛрд▓реНрдЯреЗрдЬ рдмрдирд╛рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рдЬрд╛рд▓реА рдореЗрдВ рдХреГрддреНрд░рд┐рдо рд░реВрдк рд╕реЗ рдирд┐рд░реНрдорд┐рдд рджреЛрд╖ рд╣реИ (рдЗрд╕рдХреА рдЧрддрд┐ рдмрдврд╝рд╛рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХ рд╣реИ)ред

Source: https://habr.com/ru/post/In164159/


All Articles