рдпрд╣ рд╡рд┐рдЬреНрдЮрд╛рди рд╣реИ: рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХреНрд╕: рдмреЗрдВрдб рдореА рдСрд▓ рдж рд╡реЗ



рдЖрдЬ рдРрд╕рд╛ рд▓рдЧрддрд╛ рд╣реИ рдХрд┐ рдЖрдзреБрдирд┐рдХ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХреНрд╕ рдХреБрдЫ рдЕрдЦрдВрдб рд╣реИрдВ, рдареЛрд╕ рд╣реИрдВ, рд▓реЗрдХрд┐рди рджрд┐рди рдФрд░ рдШрдВрдЯреЗ рд╕реЗ рджреВрд░ рдирд╣реАрдВ рд╣реИрдВ рдЬрдм рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХ рдЙрдкрдХрд░рдг рд▓рдЪреАрд▓реЗ рд╣реЛ рдЬрд╛рддреЗ рд╣реИрдВ (рдФрд░ рдХреБрдЫ рдирд┐рд░реНрдорд╛рддрд╛ рдкрд╣рд▓реЗ рд╣реА рд╕рдлрд▓ рд╣реЛ рдЪреБрдХреЗ рд╣реИрдВ!), рд╕реНрдорд╛рд░реНрдЯрдлрд╝реЛрди рдХреЛ рд░реЛрд▓ рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИ, рдФрд░ 2-рдореАрдЯрд░ рдХреА рдирд┐рдЧрд░рд╛рдиреА рд╕реНрд╡рдЪрд╛рд▓рд┐рдд рд░реВрдк рд╕реЗ рд╣реЛ рдЬрд╛рдПрдЧреА! "рд░реЛрд▓ рдЖрдЙрдЯ" рдЬрдм рдЖрдк рдЯреАрд╡реА рдпрд╛ рдХрдВрдкреНрдпреВрдЯрд░ рдЪрд╛рд▓реВ рдХрд░рддреЗ рд╣реИрдВ ... рдпрд╣, рдмреЗрд╢рдХ, рдЕрднреА рднреА рдПрдХ рд╕рдкрдирд╛ рд╣реИ, рд▓реЗрдХрд┐рди рд╡рд╛рд╕реНрддрд╡рд┐рдХ рд▓рдЪреАрд▓реЗ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХреНрд╕ рдкрд╣рд▓реЗ рд╕реЗ рд╣реА рджреБрдирд┐рдпрд╛ рднрд░ рдХреА рдкреНрд░рдпреЛрдЧрд╢рд╛рд▓рд╛рдУрдВ рдореЗрдВ рд╕рдмрд╕реЗ рдЗрд╖реНрдЯрддрдо рдФрд░ рд╕рд╕реНрддреА рддрдХрдиреАрдХ рдЦреЛрдЬрдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдкреНрд░реЛрдЯреЛрдЯрд╛рдЗрдк рдХреЗ рд░реВрдк рдореЗрдВ рдЙрддреНрдкрд╛рджрд┐рдд рдХрд┐рдП рдЬрд╛ рд░рд╣реЗ рд╣реИрдВред



рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХреНрд╕ рдирд╛рдо рд╕реЗ рд▓рдЪреАрд▓реА рдЧреИрд░-рдХрд╛рд░реНрдмрди рдмрдирд╛рдиреЗ рдХреЗ рд╡рд┐рд╖рдп рдиреЗ рдХрд┐рдВрдЧ рдЕрдмреНрджреБрд▓ рдЗрдВрд╕реНрдЯреАрдЯреНрдпреВрдЯ рдСрдл рд╕рд╛рдЗрдВрд╕ рдПрдВрдб рдЯреЗрдХреНрдиреЛрд▓реЙрдЬреА рд╕реЗ рдбреЗрд╡рд▓рдкрд░реНрд╕ рдХреЛ рд╕рдВрдХреЗрдд рджрд┐рдпрд╛ рдХрд┐ рд╕рдКрджреА рдЕрд░рдм рдореЗрдВ (рд╣рд╛рдБ, рддреЗрд▓ рдкреНрд░рдЧрддрд┐ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдПрдХ рдмрд╛рдзрд╛ рдирд╣реАрдВ рд╣реИ), рдХреИрдкреЗрд╕рд┐рдЯрд░, рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдФрд░ рдЬреИрд╕реЗ рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХ рдШрдЯрдХреЛрдВ рдХреЛ рд╕реНрдерд╛рдирд╛рдВрддрд░рд┐рдд рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдПрдХ рдирдИ рд╡рд┐рдзрд┐ рд╡рд┐рдХрд╕рд┐рдд рдХрд░рдирд╛ред рдкреВрд░реЗ рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрдЪрд┐рдк рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдбрд╛рдЗрдСрдХреНрд╕рд╛рдЗрдб рдпрд╛ рдкреЙрд▓реАрдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓рд╛рдЗрди / рдЕрдирд╛рдХрд╛рд░ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреЗ рдПрдХ рд▓рдЪреАрд▓реЗ рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рдкрд░ред

рдмреЗрд╢рдХ, рдЗрд╕ рдореБрджреНрджреЗ рдХрд╛ рд╕рдорд╛рдзрд╛рди рдирдпрд╛ рдирд╣реАрдВ рд╣реИ, рдФрд░ рдХрдИ рдкреНрд░рдпреЛрдЧрд╢рд╛рд▓рд╛рдУрдВ рдиреЗ рдкрд╣рд▓реЗ рд╣реА рдЗрд╕ рдХреНрд╖реЗрддреНрд░ рдореЗрдВ рдХрд╛рдлреА рдХрд╛рдо рдХрд┐рдпрд╛ рд╣реИред рдЙрджрд╛рд╣рд░рдг рдХреЗ рд▓рд┐рдП, рдЖрдИрдмреАрдПрдо рдиреЗ рдПрдХ рд╕рд╛рд▓ рдкрд╣рд▓реЗ рд▓рдЪреАрд▓реЗ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХреНрд╕ рдХреА рдЕрдкрдиреА рджреГрд╖реНрдЯрд┐ рдкреНрд░рд╕реНрддреБрдд рдХреА , рдЗрд╕рд╕реЗ рдкрд╣рд▓реЗ рдХрд┐ "рд╕реНрдкреНрд░рд┐рдВрдЧ-рд▓реЛрдбреЗрдб" рд╕рдВрдкрд░реНрдХ рдмрдирд╛рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдмрд╣реБрдд рд╕рд╛рд░реЗ рдкреНрд░рдпрд╛рд╕ рдХрд┐рдП рдЧрдП рдереЗ, рдЕрд▓рдЧ-рдЕрд▓рдЧ рд╣реЛ рдЧрдП, рд╕рд╛рдзрд╛рд░рдг рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдкрд░ рдЫреЛрдЯреЗ рдЪрд┐рдкреНрд╕ рдкреНрд░рд╡рд╛рд╣рдХреАрдп рдкреЙрд▓рд┐рдорд░, рдФрд░ рдпрд╣рд╛рдВ рддрдХ тАЛтАЛрдХрд┐ рдХрд╛рд░реНрдмрди рдиреИрдиреЛрдЯреНрдпреВрдм рдкрд░ рдЖрдзрд╛рд░рд┐рдд рдПрдХ рд╕рдорд╛рдзрд╛рди рднреА рдерд╛, рд▓реЗрдХрд┐рди рдиреАрдЪреЗ рд╡рд░реНрдгрд┐рдд рддрдХрдиреАрдХ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдХреЗрд╡рд▓ рдПрдХ рдЫреЛрдЯреА рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХрддрд╛ рд╣реЛрддреА рд╣реИ рд╡рд┐рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛рдУрдВ рдореЗрдВ рдкрд░рд┐рд╡рд░реНрддрди рдФрд░ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдФрд░ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдбрд╛рдЗрдСрдХреНрд╕рд╛рдЗрдб рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд░рддрд╛ рд╣реИред

рддреЛ, рд╢рд╛рдпрдж рдмрд╣реБрдд рдХрдо рд▓реЛрдЧ рдЬрд╛рдирддреЗ рд╣реИрдВ рдХрд┐ рд╕рд╛рдзрд╛рд░рдг рдХрд╛рдВрдЪ рд▓рдЧрднрдЧ рдЖрдзреЗ рдореЗрдВ рдореБрдбрд╝рд╛ рд╣реБрдЖ рд╣реЛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИ, рдкреВрд░реА рдмрд╛рдд рдХреЗрд╡рд▓ рдЙрддреНрдкрд╛рдж рдХреА рдореЛрдЯрд╛рдИ рдореЗрдВ рд╣реИред рдпрд╣ рд╡рд╛рд╕реНрддрд╡ рдореЗрдВ рдзрд╛рддреБ рдХреЗ рдереЛрдХ рдЯреБрдХрдбрд╝реЗ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдПрд▓реНрдпреВрдореАрдирд┐рдпрдо рдпрд╛ рд▓реЛрд╣реЗ рдХреА рдкрддрд▓реА рдкрдиреНрдиреА рдХреА рддреБрд▓рдирд╛ рдХреЗ рд╕рдорд╛рди рд╣реИред рддреЛ рдкреНрд░рд╕реНрддреБрдд рдкреНрд░реМрджреНрдпреЛрдЧрд┐рдХреА рдЗрд╕ рдкреНрд░рднрд╛рд╡ рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд░рддреА рд╣реИ, рдЕрд░реНрдерд╛рддреН, рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рдХреА рдореЛрдЯрд╛рдИ рдХреЗрд╡рд▓ 5 рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрди рддрдХ рдХрдо рд╣реЛ рдЬрд╛рддреА рд╣реИред рд╡рд╛рд╣рдХ рд╕реЗ рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рдХреЛ рдЕрд▓рдЧ рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП, рдЖрдХрд╛рд░ рдореЗрдВ рд▓рдЧрднрдЧ 3-5 рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрдореАрдЯрд░ рдХреЗ рдЫреЗрдж рдЗрд╕рдореЗрдВ "рдбреНрд░рд┐рд▓ рдХрд┐рдП рдЧрдП" рд╣реЛрддреЗ рд╣реИрдВ, рдЬрд┐рд╕рдХреЗ рдорд╛рдзреНрдпрдо рд╕реЗ рдкреНрд░рддрд┐рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдирдХрд╝реНрдХрд╝рд╛рд╢реА рддрдм рд╡рд╛рд╣рдХ рд╕реЗ рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рдХреЗ рд╕рдорд╛рди рдкреГрдердХреНрдХрд░рдг рдХреЗ рд╕рд╛рде рд╣реЛрддреА рд╣реИред


рд▓рдЪреАрд▓рд╛ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХреНрд╕ рдмрдирд╛рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рджреЛ рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛рдПрдВ: рдП) рдПрдХ рдкрд╛рд░рдВрдкрд░рд┐рдХ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рдкрд░ рдкрд╛рд░рджрд░реНрд╢реА рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдбрд╛рдЗрдСрдХреНрд╕рд╛рдЗрдб рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ, рдФрд░ рдмреА) рдкрд░

рдЗрд╕ рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдХреА рд╕рдВрдЪрд╛рд▓рдирд╢реАрд▓рддрд╛ рдФрд░ рдкреНрд░рддрд┐рд▓рд┐рдкрд┐ рдкреНрд░рд╕реНрддреБрдд рдХрд░рдиреЗ рдХреА рдХреНрд╖рдорддрд╛ рдХрд╛ рдкрд░реАрдХреНрд╖рдг рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП, рд▓реЗрдЦрдХреЛрдВ рдиреЗ рд▓рдЪреАрд▓реА рдЕрд░реНрдзрдЪрд╛рд▓рдХ рдХреИрдкреЗрд╕рд┐рдЯрд░ (MOSCAP), рдлреАрд▓реНрдб рдЗрдлреЗрдХреНрдЯ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ ( MOSFET ), рдФрд░ рдореЗрдЯрд▓-рдЗрдВрд╕реБрд▓реЗрдЯрд░-рдореЗрдЯрд▓ (MIMCAP) рдХреИрдкреЗрд╕рд┐рдЯрд░ рдмрдирд╛рдПред рд╕рднреА рдкрд░реАрдХреНрд╖рдг рдирдореВрдиреЗ рдЖрддреНрдорд╡рд┐рд╢реНрд╡рд╛рд╕ рд╕реЗ рдЭреБрдХрддреЗ рд╣реИрдВ рдФрд░ рдереЛрдХ рд╕рдордХрдХреНрд╖реЛрдВ рдХреА рддреБрд▓рдирд╛ рдореЗрдВ рд▓рдЧрднрдЧ рдЕрдкреНрд░рднреЗрджреНрдп рд╡рд┐рд╢реЗрд╖рддрд╛рдУрдВ рдХреЛ рдкреНрд░рджрд░реНрд╢рд┐рдд рдХрд░рддреЗ рд╣реИрдВред


рдХреИрдкреЗрд╕рд┐рдЯрд░ рдФрд░ рдХреНрд╖реЗрддреНрд░ рдкреНрд░рднрд╛рд╡ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдПрдХ рдкрддрд▓реА рдФрд░ рд▓рдЪреАрд▓реА рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рд╡реЗрдлрд░ рдкрд░ рдмрдирд╛рдпрд╛ рдЧрдпрд╛

рд▓реЗрдХрд┐рди рдпрд╣ рд╕рдм рдирд╣реАрдВ рд╣реИ, рдХрд╛рдо рд╕реВрдХреНрд╖реНрдо рд▓реА-рдЖрдпрди рдмреИрдЯрд░реА рдФрд░ рдерд░реНрдореЛрдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░рд┐рдХ рдЬрдирд░реЗрдЯрд░ рдЬреИрд╕реЗ рддреИрдпрд╛рд░ рдЙрдкрдХрд░рдгреЛрдВ рдХрд╛ рдХрд╛рдо рднреА рдкреНрд░рд╕реНрддреБрдд рдХрд░рддрд╛ рд╣реИ:


рд╡рд╛рд╕реНрддрд╡рд┐рдХ рдЙрдкрдХрд░рдгреЛрдВ рдХреЗ рд╕рдВрдЪрд╛рд▓рди рдХрд╛ рдкреНрд░рджрд░реНрд╢рди: рдЕрдм) рдерд░реНрдореЛрдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░рд┐рдХ рдЬрдирд░реЗрдЯрд░ рдФрд░ рдЗрд╕рдХреА рд╡рд┐рд╢реЗрд╖рддрд╛рдПрдВ ┬й, рдбреА) рд▓рд┐рдерд┐рдпрдо рдмреИрдЯрд░реА рдФрд░ рдЗрд╕рдХреА рдХреНрд╖рдорддрд╛ (рдИ)

рд▓рд╛рдЧрдд рдХреА рдмрд╛рдд рдХрд░рддреЗ рд╣реБрдП, рд▓реЗрдЦрдХ рд▓рд┐рдЦрддреЗ рд╣реИрдВ рдХрд┐ рд╡рд┐рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдореЗрдВ рд╢рд╛рдорд┐рд▓ рд╕рднреА рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛рдПрдВ рдкрд╛рд░рдВрдкрд░рд┐рдХ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдореЗрдВ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд┐рдП рдЬрд╛рдиреЗ рд╡рд╛рд▓реЗ рд╕рдорд╛рди рд╣реИрдВ, рдПрдХ рдХреЗ рдЕрдкрд╡рд╛рдж рдХреЗ рд╕рд╛рде - XeF 2 рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд░рдХреЗ рдкреНрд░рддрд┐рдХреНрд░рд┐рдпрд╛рд╢реАрд▓ рдирдХрд╝реНрдХрд╝рд╛рд╢реА рдХреЗ рдмрд╛рдж рдкреНрд▓реЗрдЯ рдХреЛ рдЕрд▓рдЧ рдХрд░рдирд╛ред рд╣рд╛рд▓рд╛рдВрдХрд┐, рдЗрд╕ рдпреМрдЧрд┐рдХ рдХрд╛ рд▓рдЧрднрдЧ 18 рдЧреНрд░рд╛рдо рдкреНрд░рддрд┐ 18 рд╕реЗрдореА 2 рдкреНрд▓реЗрдЯ (100 рдЪрдХреНрд░, 30 рдПрд╕ / рдЪрдХреНрд░) рдХрд╛ рд╕реЗрд╡рди рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред $ 8 / g рдХреА рд▓рд╛рдЧрдд рдХреЛ рджреЗрдЦрддреЗ рд╣реБрдП, рдпрд╣ рдкрддрд╛ рдЪрд▓рддрд╛ рд╣реИ рдХрд┐ рдкреВрд░реА рдирдХрд╝реНрдХрд╝рд╛рд╢реА рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ $ 0.88 / cm 2 рдкрд░ рдирд┐рдХрд▓рддреА рд╣реИ, рдЬреЛ рдЗрддрдирд╛ рдЫреЛрдЯрд╛ рдирд╣реАрдВ рд╣реИред рдФрд░ рдПрдХреНрд╕рдИ рдХреА рд╡рд╕реВрд▓реА - рдХрдо рд╕реЗ рдХрдо рднрд╛рдЧ рдореЗрдВ - рдХрдИ рдмрд╛рд░ рд▓рд╛рдЧрдд рдХрдо рд╣реЛ рдЬрд╛рдПрдЧреАред рдЗрд╕рдХреЗ рдЕрд▓рд╛рд╡рд╛, рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рдХреЛ рдкрддрд▓рд╛ рдХрд░рдиреЗ рд╕реЗ рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рдХреЛ рдХрд╛рдлреА рдмрдЪрдд рд╣реЛрдЧреАред

рдФрд░ рдЕрдВрдд рдореЗрдВ, рдПрдХ рд╡реАрдбрд┐рдпреЛ рдЬрд┐рд╕рдореЗрдВ рд▓реЗрдЦрдХ 4 рдЗрдВрдЪ рдкреНрд▓реЗрдЯ рдХреЗ рд╕рд╛рде "рдЦреЗрд▓реЗ" рдЬрд╛рддреЗ рд╣реИрдВ, рдЬрд┐рд╕реЗ рдпрд╣рд╛рдВ рд▓рд┐рдпрд╛ рдЬрд╛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИ ред

ACSNano рдкрддреНрд░рд┐рдХрд╛ рдореЗрдВ рдкреНрд░рдХрд╛рд╢рд┐рдд рдореВрд▓ рд▓реЗрдЦред


рдХрднреА-рдХрднреА рдпрд╣ рд╕рдВрдХреНрд╖реЗрдк рдореЗрдВ рдкрдврд╝рдирд╛ рд╕рдВрднрд╡ рд╣реИ, рдФрд░ рдХрднреА-рдХрднреА рдореЗрд░реЗ рдЯреЗрд▓реАрдЧреНрд░рд╛рдо рдЪреИрдирд▓ рдкрд░ рд╡рд┐рдЬреНрдЮрд╛рди рдФрд░ рдкреНрд░реМрджреНрдпреЛрдЧрд┐рдХреА рдХреА рдЦрдмрд░реЛрдВ рдХреЗ рдмрд╛рд░реЗ рдореЗрдВ рдЗрддрдирд╛ рдЕрдзрд┐рдХ рдирд╣реАрдВ рд╣реИ - рд╣рдорд╛рд░рд╛ рд╕реНрд╡рд╛рдЧрдд рд╣реИ;)

Source: https://habr.com/ru/post/In219211/


All Articles